Инструкция к микроскопу МСПЭ-1

1. НАЗНАЧЕНИЕ

Микроскоп стереоскопический панкратический МСПЭ-1 предназначен для визуального контроля сборок в микроэлектронике. Микроскоп МСПЭ-1 позволяет производить стереоскопическое наблюдение объектов в проходящем свете в светлом и темном поле, а в отраженном свете — при прямом и косом освещении. Микроскоп изготавливается для работы в макроклиматиче-ских районах с умеренным и холодным климатом в лабораторных помещениях при температуре воздуха от 10 до 35°С.

3. СОСТАВ МИКРОСКОПА

Основными узлами микроскопа являются: бинокулярная насадка, панкратические системы в корпусе, объективы в оправе, основание с тубусодержателем, осветитель ОВС-1, осветитель проходящего света, предметоводитель, источник питания «Г ранат». Полный комплект микроскопа указан в его паспорте.

4. УСТРОЙСТВО И РАБОТА МИКРОСКОПА

Оптическая система микроскопа показана на рис. 1. Освещение объекта в проходящем свете в светлом поле осуществляется от источника света 1 (рис. 1) посредством коллектора 2, двух осветительных линз 3 и 4, зеркала 5, через стекло 6, служащее столом прибора, и стекло 7, на которое кладется объект.

 Перед осветительными линзами 3 я 4 располагаются сменные светофильтры 8. Для ограничения наблюдаемого поля служит ирисовая диафрагма 9. Освещаемое линейное поле в плоскости пред-предмета- 14 mm. Для освещения поля 23 mm линза 4 выводит- ся из хода лучей и вместо нее вводится матовое стекло 10. Темнополы-юс освещение объекта осуществляется критическим способом при выключенных осветительных линзах 3 и 4 и введенном параболическом зеркале с пластиной 11. Освещаемое поле в плоскости предмета — 7 mm. В оптическую систему микроскопа входят три сменных объек-тива-апохромата 12, 13 и 14 (F = 200 mm, F = 60 mm, F=\0l mm соответственно); при работе с объективом 14 F =101 mm и насадочной линзой 15 эквивалентное фокусное расстояние этого объектива и линзы равно 63 mm. Непосредственно за объективом в каждой ветви микроскопа расположены панкратические системы 16, позволяющие плавно изменять увеличение микроскопа при постоянной величине рабочего расстояния; коэффициент трансфокации панкратических систем 1:5. За панкратическими системами расположены дополнительные объективы 17, которые совместно с основным объективом микроскопа образуют изображения объекта в плоскости полевых диафрагм окуляров 18. Изменение направления оптической оси на 45° к вертикали осуществляется с помощью призм Шмидта 19. Установка окулярных трубок в соответствии с глазной базой наблюдателя при сохранении параллельности оптических осей окулярной части микроскопа производится с помощью ромбических призм 20. При работе в отраженном свете с непрозрачными объектами их освещение производится или от волоконных осветителей косого освещения с волоконными световодами 21 и осветительной Рис. 1 линзой 22, или через объектив посредством призмы-куба 23 и двух световодов 21 (на торцы световодов 21 свет поступает от лампы КГМ9-70 и двух конденсоров осветителя ОВС-1).

Общий вид микроскопа показан на рис. 2. На основании 24 с тубусодержателем 25 устанавливается на фланец 26 механизм фокусировки 27, который может быть закреплен рукояткой 28 на любой (в пределах от 0 до 45 mm) высоте от основания штыря. Фокусировка производится путем вращения барашков 29. Для увеличения чувствительности наводки на резкость на барашек 29 надевается разрезная оправа 30, в которую ввинчивается до упора винт 31, приводящий в движение фокусировочный механизм. На направляющей фокусировочного механизма закреплен корпус 32 с панкратической системой. Изменение увеличения микроскопа производится вращением барашка 33. В окне 34 корпуса панкратической системы расположен указатель ее увеличения. В нижней части корпуса имеется отверстие, в которое вставляются сменные объективы в оправах 35 с фланцами или корпус 36 со световодами и закрепляются в нем винтом 37. Во время работы с корпусом световодов объективы 35 устанавливаются в гнездо этого корпуса и закрепляются в нем винтом 38. Бинокулярная насадка 39 вставляется в гнездо в верхней части корпуса панкратической системы и закрепляется винтом 40. В окулярные трубки 41 насадки вставляются сменные окуляры 42. Расстояние между осями окуляров в пределах от 56 до 74 mm (в соответствии с глазной базой наблюдателя) достигается путем разведения окулярных трубок в противоположные стороны относительно оси их вращения. Диоптрийные механизмы, расположены^ на окулярных трубках, дают возможность путем вращения колец 43 с накаткой производить перемещение окуляров вдоль оси в пределах ±5 диоптрий. Осветитель 44 (рис. 3) проходящего света закреплен на задней стенке тубусодержателя. В осветитель вставляется патрон 45 с лампой КГМ9-70 и поворотом по часовой стрелке до упора фиксируется в нем. При снятии патрона, в случае замены лампы, следует повернуть его против часовой стрелки и вывести из корпуса осветителя. Винты 46 служат для центрировки нити лампы В корпусе осветителя размещены коллектор, который с помощью рукоятки 47 перемещается вдоль оси, и ирисовая диафрагма 9 (см. рис. 1), размер раскрытия которой регулируется поворотом рукоятки 48 (см. рис. 3). Ручка 49 служит для ввода в ход лучей сменных осветительных линз для получения светлого или темного ноля. При выдвинутой до упора ручке 49 в ход лучей вводится осветительная линза 3 (см. рис. 1) и матовое стекло 10 для светлопольного освещения поля размером 23 mm; при среднем положении рукоятки (введенной до момента фиксации) в ход лучей вводятся осветительные линзы 3 и 4 светопольного освещения, проектирующие полевую диафрагму 9 в плоскость объекта; при вдвинутой до упора ручке 49 (см. рис. 3) вводится параболическое зеркало с пластиной // (см. рис. 1) для темнопольного освещения. При настройке перемещение линзы 4 и параболического зеркала с пластиной // вдоль оси производится поворотом ручки 49 (см. рис. 3).

В тубусодержателе имеется гнездо 50 (см. рис. 2), в которое вставляются светофильтры в оправах 51 при работе в проходящем свете. Прсдметоводитель 52 и стекло 6 (см. рис. 1) устанавливаются па верхнюю плоскость 53 (см. рис. 2) основания 24. Предмет (фотошаблон или интегральная схема в корпусе) устанавливается на стекло 54 (см. рис. 4) рамки 55. Рамка с фотошаблоном устанавливается на стекло 6 (см. рис. 1), служащее столом прибора, таким образом, чтобы скобы 56 (см. рис. 4) рамки наделись на вал 57 (см. рис. 2), закрепленный на подвижном основании 58 предметоводителя 52. Медленное перемещение рамки 55 (см. рис. 4) по оси У производится вращением рукоятки 59 (см. рис. 2), закрепленной па конце ходового впита 60, который сцеплен с планкой 61 основания 58. Для быстрого перемещения рамки по оси У планка 61 отжимается от ходового винта 60.

Перемещение рамки 55 (см. рис. 4) по оси А производится за рамку по валу 57 (см. рис. 2). Питание лампы КГМ9-70 осветителя проходящего света ос\ щсствляется через унифицированный источник питания - I paim 62. Описание конструкции п порядок работы с л пм источником питания изложены в его паспорте. В качестве осветителя отраженного света применяется волоконный осветитель 63 (ОВС-1) с двумя осветительными световодами 21 (см. рис. 1) и осветительным блоком с двумя сменными лампами КГМ9-70. Описание конструкции, порядок работы, техническое обслуживание волоконного осветителя изложены в его описании.

5. МАРКИРОВАНИЕ

На корпусе микроскопа прикреплены фирменная табличка, на которой нанесены шифр микроскопа, товарный знак предприятия-изготовителя, порядковый номер микроскопа и бирка, на которой нанесены товарный знак предприятия-изготовителя и шифр микроскопа.

6. УКАЗАНИЯ МЕР БЕЗОПАСНОСТИ

При работе на микроскопе опасность представляют электрический ток и излучение ламп накаливания. Конструкция микроскопа и источников питания ламп накаливания исключает возможность случайного прикосновения к неизолированным частям, находящимся под напряжением, и прямого попадания яркого света ламп в глаза исследователя и окружающего персонала. К работе на микроскопе допускаются лица, прошедшие периодический инструктаж по требованиям техники безопасности и имеющие I группу по электробезопасности. Работать на микроскопе необходимо в помещении без повышенной опасности. При смене лампы, а также после окончания паботы на микроскопе необходимо выключить тумблеры ВКЛ источников питания, а вилки шнуров питания вынуть из розеток сети.

7, РАСПАКОВКА, ОБЩИЕ УКАЗАНИЯ ГЮ ЭКСПЛУАТАЦИИ И ПОДГОТОВКА К РАБОТЕ

7.1, Распаковка микроскопа Распаковывайте микроскоп только после того, как он примет комнатную температуру, в следующем порядке: выньте из транспортной тары ящики с микроскопом и принадлежностями; освободите ящики от бумаги, шпагата и вскройте их; проверьте комплектность микроскопа по прилагаемому к нему паспорту; осмотрите принадлежности и узлы, входящие в комплект микроскопа, и убедитесь в отсутствии повреждений.

7.2. Установка микроскопа Установите основание микроскопа с тубусодержателем на рабочий стол, на тубусодержателе закрепите механизм фокусировки с панкратической системой. В основание 24 (см. рис. 2) вставьте стекло 6 (см. рис. 1). Закрепите на корпусе панкратической системы бинокулярную насадку 39 (см. рис. 2) с помощью винта 40. Закрепите на столе предметоводитель, наденьте на вал 57 предметоводителя рамку 55 (см. рис. 4). Закрепите на корпусе панкратической системы выбранный для работы объектив. Для расширения диапазона увеличений микроскопа используется насадочная линза в оправе из комплекта микроскопа, которая ввертывается в оправу объектива АПО (Т7 =101 mm).

7.3. Подготовка к работе В зависимости от исследуемого объекта (фотошаблон, интегральная схема в корпусе или другой объект) его можно положить на стекло стола 6 (см. рис. 1) или в рамку предметоводителя на стекло 7. Включите, в зависимости от характера предполагаемой работы, необходимый осветитель через соответствующий источник питания в сеть переменного тока напряжением 220 V.

8. ПОРЯДОК РАБОТЫ

8.1. Работа в проходящем свете 8.1.1. Настройка микроскопа для работы в светлом поле. Необходимо помнить, что для правильной работы микроскопа объектив должен быть установлен так, чтобы объект находился в его фокальной плоскости. Для этого настройте микроскоп в следующем порядке: введите в ход лучей микроскопа осветительные линзы для светлопольного освещения, выдвинув в среднее положение до фиксации ручку 49 (см. рис. 3); установите на ноль механизмы диоптрийного перемещения окулярных трубок, т. е. совместите риски подвижной и неподвижной их частей, установите увеличение панкратической системы 2,5 в окне указателя увеличения; вставьте в одну из окулярных трубок окуляр 15ХШ с перекрестием и шкалой и скомпенсируйте ошибку глаза, т.е. перемещением подвижной части окуляра вдоль оси за кольцо 64 (см. рис. 3) с накаткой добейтесь резкого изображения шкалы и перекрестия окуляра; наблюдая в окуляр 15хIII, вращением барашка 29 (см. рис. 2) сфокусируйте микроскоп на объект. Выньте окуляр 15ХШ, не трогая рукояток механизма фокусировки 27 микроскопа, а только перемещая окуляр вдоль оси вращением колец с накаткой 43 окулярных трубок; добейтесь резкого изображения объекта сначала для одного, а затем для другого глаза; наблюдая в оба окуляра и разворачивая окулярные трубки, найдите такое их положение, при котором два изображения будут сведены в одно. В дальнейшем при смене объекта или объектива нужно пользоваться рукоятками механизма фокусировки микроскопа, не нарушая найденного положения окуляров. Настройте наиболее равномерное освещение поля зрения перемещением коллектора вдоль оси с помощью рукоятки 47 (см. рис. 3.) и центрировкой нити лампы винтами 46; прикройте полевую диафрагму рукояткой 48\ перемещая вдоль оси осветительную линзу вращением ручки 49, добейтесь резкого изображения полевой диафрагмы, а ее центричного положения относительно поля окуляра — поворотом головки микроскопа на фланце 26 (см. рис. 2) при отжатой рукоятке 28. Если необходимо увеличить освещенное поле окуляра, введите в ход лучей матовое стекло ручкой 49 (см. рис. 3), выдвинув ее до упора; откройте полностью полевую диафрагму с помощью рукоятки 48. Примечание. С увеличениями панкратической системы от 0,5 до 1 могут наблюдаться срезание поля зрения и неравномерность освещения по краю. После того как будет произведена настройка микроскопа, можно перейти к наблюдению объекта с любым другим увеличением панкратической системы. Для повышения контрастности изображения объекта можно использовать светофильтры из комплекта микроскопа. 8.1.2. Настройка микроскопа для работы в темном поле Настройте микроскоп, как указано в п. 8.1.1. С помощью ручки 49 (см. рис. 3), вдвинув ее до упора в корпус основания 24 (см. рис. 2), введите в ход лучей параболическое зеркало с пластиной. Откройте полностью полевую диафрагму с помощью рукоятки 48 (см. рис. 3). В плоскость объекта положите лист белой бумаги. Фокусировкой параболического зеркала (поворотом ручки 49) и перемещением коллектора вдоль оси с помощью рукоятки 47 добейтесь резкого очерченного, ярко освещенного поля в этой плоскости диаметром ~7 мм. Снимите бумагу. При этом в поле окуляра на темном фоне образуется контрастное светлое изображение объекта.

8.2. Работа в отраженном свете Объект в отраженном свете можно освещать или косонаправленным, или падающим через объектив светом. Для косого освещения объектов закрепите винтами два держателя 65 осветителей па корпусе панкратической системы. Световоды 21 вставьте одним концом в осветитель 63 (ОВС-1), а другим — во втулки 66 (см. рис. 3) держателей, предварительно навинтив на них снятые из корпуса со световодами 36 (см. рис. 2) втулки 67 (см. рис. 3) в следующем порядке: отвинтите с концов световодов муфты 3 (см. паспорт осветителя ОВС-1, рис. 3), освободите (если необходимо) буртики концов световодов от латексной трубки; осторожно вставьте концы световодов во втулки 67, навинтите их до упора на концы световодов и застопорьте винтом. Включите осветитель ОВС-1 согласно его паспорту. Заклоном держателей направьте световые пучки от обоих световодов таким образом, чтобы в плоскости объекта получилось одно световое пятно. Если в плоскости объекта наблюдается неравномерность освещения, то нужно отцентрировать лампу осветителя ОВС-1 согласно его паспорту. Для освещения объекта падающим светом (бестеневое освещение) в корпус панкратической системы установите корпус со световодами 36 (см. рис. 2), закрепите его винтом 37. В гнездо корпуса установите выбранный для работы объектив, закрепите его в гнезде винтом 38. Опустите головку микроскопа в нижнее положение вращением барашков 29. Вставьте в корпус до упора световоды 21 с навинченными на них втулками 67. Сфокусируйте микроскоп на объект. Для удобства работы на приборе в отраженном свете головку микроскопа можно установить на стойку 68 (см. рис. 4), поставляемую по спецзаказу. На стойку может устанавливаться координатный предметный столик, также поставляемый по спецзаказу.

9. ПРАВИЛА ОБРАЩЕНИЯ С МИКРОСКОПОМ, ХРАНЕНИЕ И ТРАНСПОРТИРОВАНИЕ

9.1. Правила обращения с микроскопом и хранение Микроскоп длительное время должен работать безотказно, но для этого следует содержать его в чистоте п предохранять от повреждений. Рекомендуется периодически протирать микроскоп мягкой тряпкой, пропитанной бескислотным вазелином, а затем обтирать сухой мягкой чистой тряпкой. Если смазка в направляющих механизмах фокусировки загрязнится и загустеет, смойте ее ксилолом или бензином и оботрите трущиеся поверхности чистой тряпкой, а затем слегка смажьте направляющие бескислотным вазелином или специальной смазкой. Жидкость, попавшую на прибор во время работы, тщательно удалите. Особое внимание обращайте на чистоту оптических деталей. Для предохранения призм от попадания пыли окуляры следует оставлять в трубках прибора. Нельзя касаться пальцами поверхностей оптических деталей. При чистке внешних поверхностей линз сначала удалите с них пыль мягкой кистью, хорошо промытой в зфире, потом протрите мягкой стираной полотняной или батистовой тряпочкой, слегка смоченной бензином или наркозным эфиром. Неисправности микроскопа, требующие его разборки, самим устранять нельзя. Для ремонта микроскоп следует отправить в оптическую мастерскую или на предприятие-изготовитель. 9.2. Транспортирование При необходимости перебазирования в другое помещение микроскоп и принадлежности должны быть уложены в потребительскую тару. При встряхивании ящиков микроскоп и принадлежности не должны перемещаться. Допускается перевозка всеми видами крытого транспорта.

Главнаяя | Микроскопы | Комплектующие | Оптика | Доставка | Оплата | Контакты